蔡司Xradia 515 Versa 3D X射线显微镜（XRM）是Versa XRM系列中最具成本效益的型号，可保持大样本的分辨率。凭借同类最佳的Versa平台，它为半导体封装开发和故障分析提供了高分辨率和非破坏性成像能力。
蔡司X射线显微镜消除了3D成像的主要技术障碍，实现了高对比度和亚微米分辨率。
特点：
3D成像的主力
Xradia 515 Versa使用独特的两级放大技术，使您能够实现远距离分辨率（RaaD）。
结合Versa XRM平台的灵活性和稳定性，这种无与伦比的多功能性确保了高图像质量和快速获得结果。
这些3D成像创新为各种样品尺寸、几何形状和成分的广泛应用提供了支持。多功能性使重要的功能，如内部断层扫描，相位对比，原位成像和相关的FIB-SEM工作流程。蔡司3D X射线显微镜建立在可拆卸、可扩展且可靠的平台上，有助于保护您的资本投资。
AI驱动的高通量成像重建
可选的蔡司DeepRecon Pro模块提供4倍的扫描速度，并提高图像质量。
蔡司DeepScout模块可在大视场（FOV）下实现高分辨率恢复，节省了覆盖FOV的大量长扫描。
蔡司Versa 3D X射线显微镜系列
| 特征 | VersaXRM 730 | VersaXRM 615 | 515 Versa |
| 密封传输，快速激活源 | 30-160 kV, 25 W | 30-160 kV, 25 W | 30-160 kV, 10 W |
| 空间分辨率[a] | 450 nm | 500 nm | 500 nm |
| 分离度性能[B] | 500 nm |
| 远距离分辨率性能[c] | 700 nm @ 50 mm, 750 nm @ 100 mm |
| 远距离分辨率（RaaD）[c] |
| 1.0 μm @ 50 mm | 1.0 μm @ 50 mm |
| 最高分辨率探测器（可选） | 40×-P | 40× | 40× |
| 控制系统 | ZEN navx Navigation & Guidance | ZEN navx Navigation & Guidance | 侦察与扫描 |
| 过滤器保持器 | 自动过滤器更换器 | 手动 | 手动 |
| 系统内查看器 | 3D View ZEISS Edition | 3D View ZEISS Edition | TXM 3DViewer |
| 样品和仪器保护 | SmartShield, SmartShield Lite | SmartShield, SmartShield Lite | SmartShield |
| 平板扩展（FPX） | 可选 | 可选 | 可选 |
| 快速模式 | 已启用;需要FPX | 已启用;需要FPX |
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| 自动加载 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 原位接口套件 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 高级功能 | WFM 4X, HART, DSCoVer |
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| 衍射对比断层成像 | 可选 |
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| 高级重建 |
| 高性能工作站 | 包括 | 包括 | 任择 |
| DeepRecon Pro | 2年的许可证包括在内 | 2年的许可证包括在内 | 1年期或永久许可证可选的 |
| 深度侦察 | 任择 | 任择 | 任择 |
| MARS | 任择 | 任择 | 任择 |
| 阶段演进 | 任择 | 任择 | 任择 |
| OptiRecon | 任择 | 任择 | 任择 |
| 技术封装 |
| AI增压器 | 升级 | 升级 | 任择 |
| 侦察包 | 升级 | 升级 | 任择 |
| 减碳包 | 任择 | 任择 | 任择 |
| 艺术高级 | 升级 | 升级 | 任择 |
